MOS 器件特性

对应的设计方法(gm/Id)见 gmid方法。

工作区定义

region 工作区 对应英文
0 截止区 Off
1 线性区 Linear zone
2 饱和区 Saturation zone
3 亚阈值区 Subthreshold area
4 击穿区 Breakdown

(编号与 Spectre 仿真输出的 region 参数一致,可作校核)

各工作区偏置条件

以过驱动电压 Vov=VGS−VTH 和 VDS 为判据(NMOS,PMOS 见下):

工作区 偏置条件 ID 行为 说明
0 截止 / Off VGS<VTH(深亚阈值,Vov≲−0.2 V) ≈0,仅本底漏电 理想平方律模型视为开关断开(ID=0);与亚阈值的分界由仿真模型定义
1 线性区 / Linear VGS>VTH 且 VDS<Vov 漂移主导,与 VDS 强相关 沟道连续;VDS≪Vov 时近似可变电阻 Ron≈1μCox(W/L)Vov
2 饱和区 / Saturation VGS>VTH 且 VDS≥Vov 漂移主导,一阶近似与 VDS 无关 沟道夹断;实际受 λ、DIBL 调制
3 亚阈值区 / Subthreshold VGS<VTH(近阈值弱反型,Vov∈(−0.2 V,0)) 扩散主导,随 VGS 指数变化 可设计的工作区:gm/ID→1nVT≈20∼30 V−1;与 Off 的分界由仿真模型定义
4 击穿 / Breakdown 任一端电压超过器件耐压 — 见下方击穿电压量级

截止区 vs 亚阈值区:如何区分

两者偏置条件同为 VGS<VTH(Vov<0),区别在于模型视角,而非物理上互相独立的两个区域:

击穿电压量级(典型值,随工艺/器件类型变化):

平方律模型与 gm 公式

gm 的数学表达式能够从 ID 推导出来:

ID=12μnCoxWL(VGS−VTH)2

那么,根据偏微分可以得出

gm=μnCoxWL(VGS−VTH)

除此之外,通过简单的公式变化可以推导出跨导 gm 和 ID 的关系:

gm=2IDVGS−VTH

以及

gm=2IDμnCoxWL

线性区(三极管区,0<VDS<Vov)的 ID 与 gm:

ID=μnCoxWL(VovVDS−12VDS2),gm=μnCoxWLVDS

由于 VDS<Vov,线性区 gm 恒小于同尺寸饱和区的 gm=μnCoxWLVov;深线性区 ID≈μnCoxWLVovVDS 即可变电阻区(Ron 见前)。

非理想效应下的 MOS 公式

以上为长沟道一阶平方律模型,实际器件还需考虑以下非理想效应。

1. 沟道长度调制(λ)

VDS 增大使有效沟道长度变短,饱和区电流随之增大:

ID=12μnCoxWL(VGS−VTH)2(1+λVDS)

跨导(一阶近似下形式不变):

gm=μnCoxWL(VGS−VTH)(1+λVDS)≈2μnCoxWLID

输出电导与输出阻抗:

gds=∂ID∂VDS=λID1+λVDS≈λID,ro=1gds≈1λID

本征增益(一阶近似下与 VDS 无关):

gmro=gmgds≈2λ(VGS−VTH)

2. 体效应(衬底效应,γ)

VSB≠0 时阈值电压增大:

VTH=VTH0+γ(2ϕF+VSB−2ϕF)

γ 为体效应系数(典型 0.3∼0.6 V1/2),2ϕF 为表面势(约 0.6∼0.7 V)。

背栅跨导 gmb=∂ID/∂VBS:

gmb=gmγ22ϕF+VSB=ηgm,η≈0.1∼0.3

完整的小信号模型:id=gmvgs+gmbvbs+gdsvds。

3. 速度饱和(短沟道)

沟道电场接近临界电场 Ec=vsat/μ 后载流子速度趋于饱和,平方律关系退化:

ID=12μnCoxWL(VGS−VTH)21+VGS−VTHEcL

深度速度饱和(VGS−VTH≫EcL)时,ID 近似正比于 VGS−VTH:

ID∝WCoxvsat(VGS−VTH),gm≈WCoxvsat

此时 gm 与 W 成正比、与 L 和 VGS 无关,也不再正比于 ID——这是短沟道器件 gm 的理论上限(vsat≈105 m/s,Ec≈1∼2 V/μm)。

4. 迁移率退化

栅压升高使表面电场增强、迁移率下降(μeff=μ01+θ(VGS−VTH)):

ID=12μ0CoxWL(VGS−VTH)21+θ(VGS−VTH)

θ 为迁移率退化系数,与栅氧厚度和工艺相关(典型 0.1∼1 V−1)。其效果与速度饱和类似:大过驱动时电流由平方律退化为近似线性。

5. 亚阈值区(弱反型)

VGS<VTH 时电流由扩散主导,随 VGS 指数变化:

ID=IS0WLexp⁡(VGS−VTHnVT)[1−exp⁡(−VDSVT)]

VT=kT/q≈26 mV(300 K),n=1+Cdep/Cox≈1.1∼1.5 为亚阈值斜率因子。

gm=IDnVT,gmID=1nVT≈20∼30 V−1

亚阈值摆幅:

SS=nVTln⁡10≈60∼100 mV/dec

DIBL(漏致势垒降低):VDS 增大会降低有效阈值电压,使亚阈值电流进一步增大,一阶近似为 VTH(VDS)≈VTH0−ηDIBLVDS。DIBL 是短沟道器件 gds 偏大的主要原因之一。

6. 温度特性

7. 栅极漏电(栅隧穿)

栅氧极薄时(先进工艺 Tox≈1∼2 nm),栅-沟道间直接隧穿产生栅电流,随 Tox 减小指数增大(IG∝W,典型 pA~nA 量级)。其影响:

各工作区 gm 与 gm/Id 对照表

三个工作区行为对照(Vov=VGS−VTH):

工作区 ID gm gm/ID
亚阈值(弱反型) ∝eVGS/nVT IDnVT 1nVT(约 20∼30 V−1,上限)
强反型(平方律) 12μCoxWLVov2 2IDVov=μCoxWLVov 2Vov
深度速度饱和 ∝WCoxvsatVov WCoxvsat 1Vov

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